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반도체공정 - 공조실 사용 메뉴얼 연수
작성자 반도체부 등록일 13.03.29 조회수 479
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공조실 : 클린룸 온습도 조절, 압축공기, 베큠, pcw 공급, 전원공급

  • pcw컨트롤러
  • 메인 전원공급
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